ノルボルネン骨格を有するポリマーです。剛直骨格に由来する高耐熱性と合成技術を基礎とした官能基導入によりご要望の特性付与が可能である点が特長です。

側鎖官能基をご用途に合わせて設計することで、目的の機能が得られます。
例えばレジスト用途に適切な官能基を導入する事で、ポジ型や、ネガ型のアルカリ現像可能なパターニング用材料への適用が可能です。

ポジ型感応膜として半導体や、表示体、半導体などのフォトレジスト用に使用することができ、感光剤を添加することでポジ型レジストとして機能を発現します。官能基にアルカリ可溶性や溶剤可溶性の置換基を導入することで、アルカリ現像することができます。

ネガ型感光膜として半導体や、表示体などのフォトレジスト用に使用することができ、ネガ型レジストとして有効な機能を発現します。官能基にアルカリ可溶性や架橋性基を付けることでネガタイプレジスト用樹脂として機能を発現します。

マスクを介してUVを照射することで、光架橋性の硬化反応も適用可能です。露光後にアルカリ現像を行うことで、ネガ型のパターン形成ができます。