加工工程中の樹脂基板とセラミック基板の反りの違い
樹脂基板
プロセスメリット:
低反り、絶縁層クラックなし、冷却器接合が容易
応力少、高信頼性
低反り、絶縁層クラックなし、冷却器接合が容易
応力少、高信頼性
セラミック基板
プロセスデメリット:
セラミック基板は、セラミックと銅のCTEのミスマッチにより反り挙動が大きく、様々な問題を起こします。
セラミック基板は、セラミックと銅のCTEのミスマッチにより反り挙動が大きく、様々な問題を起こします。
放熱シート&樹脂基板は、プロセスメリット&高信頼性を実現します。
パワーモジュールでの樹脂基板とセラミック基板の反りの違い
樹脂基板タイプ
〇非接触反り測定の結果
⇒変形は極めて少ない。
セラミック基板タイプ
〇非接触反り測定の結果
⇒ヒートシンク側を凸側として変形している。
樹脂基板はセラミック基板に比べパッケージにした時の反り量が80μm小さくなっている。